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表面所具有的微观几何形状统称为表面形貌。近年来，随着科学技术的发展进步，对各种材料表面精度提出了越来越高的要求；同时随着用户对产品的要求越来越高，行业标准越来越严格，制造业自动化水平的提高，许多行业面临整个工艺流程的改革，因此表面检测越来越被企业所重视。
形貌观察与测量意义
①材料表面的微观几何形貌特性在很大程度上影响着它的许多技术性能和使用功能。
②观察材料表面形貌，为研究样品形态结构提供了便利，有助于监控产品质量，改善工艺。
应用领域
材料、电子、无铅焊接、机械加工、半导体制造、航空、汽车、陶瓷品、地质学、医学、冶金等。
测试流程
样品要求
电子显微镜观察样品要求：非磁性或弱磁性，不易潮解且无挥发性的固态样品，小于8CM*8CM*2CM 。
光学显微镜观察样品要求： 无特殊要求。
测试步骤
确认样品类型→确认检验规范→观察样品→记录观察现象/测量数据评定→结果评定
参考标准
1.实验室根据样品情况推荐标准
2.客户提供或建议使用标准
常用标准（部分）
JYT 010-1996 分析型扫描电子显微镜方法通则
GB/T 16594-2008 微米级长度的扫描电镜测量方法通则
IPC-6012 刚性印制板的鉴定及性能规范
IPC-A-610电子组件的可接受性
JIS B 0601-2013产品几何量技术规范(GPS)表面结构轮廓法.术语、定义和表面结构参数